@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005910,
 author = {科学技術動向センター},
 journal = {科学技術動向2010年9月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {イオン注入を利用した薄膜の立体微細構造の作製技術},
 year = {2010},
 yomi = {カガクギジュツドウコウセンター}
}