@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005870, author = {吉永, 孝司 and 野村, 稔}, journal = {科学技術動向2010年4月号, Science & Technology Trends}, month = {}, title = {3 次元LSI 実装のためのTSV 技術の研究開発動向}, year = {2010}, yomi = {ヨシナガ, タカシ and ノムラ, ミノル} }