@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005706,
 author = {科学技術動向センター},
 journal = {科学技術動向2008年8月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {電子デバイス中の歪み分布をナノメートルの空間分解能で計測},
 year = {2008},
 yomi = {カガクギジュツドウコウセンター}
}