@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005260,
 author = {立野, 公男},
 journal = {科学技術動向2004年5月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {半導体微細加工装置技術の最新動向 ―開発研究における日本の産学連携への提言―},
 year = {2004},
 yomi = {タツノ, キミオ}
}