@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005249,
 author = {小松, 裕司},
 journal = {科学技術動向2004年3月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {半導体製造技術の研究開発動向 ―近年の国際会議（１）での発表等から―},
 year = {2004},
 yomi = {コマツ, ヒロシ}
}