@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005160,
 author = {奥和田, 久美},
 journal = {科学技術動向2002年9月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {MEMS研究の新展開},
 year = {2002},
 yomi = {オクワダ, クミ}
}