@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005153,
 author = {山崎, 哲也},
 journal = {科学技術動向2002年7月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {LSI技術の研究動向 ―VLSIシンポジウムとシリコンナノエレクトロニクスワークショップの発表より―},
 year = {2002},
 yomi = {ヤマザキ, テツヤ}
}