@article{oai:nistep.repo.nii.ac.jp:00005080,
 author = {小笠原, 敦},
 journal = {科学技術動向2001年5月号, Science & Technology Trends},
 month = {},
 title = {ナノテクノロジー／情報通信分野の注目動向 次世代LSI用リソグラフィー技術の研究開発動向},
 year = {2001},
 yomi = {オガサワラ, アツシ}
}